NEDO先導研究プログラム
NEDO先導研究プログラムに採択されました。
研究テーマ：「半導体プロセスメタファクトリーの基盤技術開発」
グローバルウェーハズ・ジャパンはNEDO（国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構）による2023年度公募の『NEDO先導研究プログラム/新産業・革新技術創出に向けた先導研究プログラム』に採択されました。
2023年度「NEDO先導研究プログラム／新技術先導研究プログラム」に係る実施体制の決定について
本先導研究プログラムでは、「半導体プロセスメタファクトリーの基盤技術開発」という研究テーマを掲げ、上流のシリコンウェーハ製造プロセスから下流の半導体デバイス製造プロセスまでを一気通貫で全体最適化するための”メタファクトリー”の構築に向けた基盤技術開発を推進します。
NEDO先導研究プログラム 2023年度： 「半導体プロセスメタファクトリーの基盤技術開発」(PDF)
| 発行元 | 国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構 |
|---|---|
| 発行年月 | 2023年10月 |
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