| 1968年 | コバレントマテリアル株式会社（旧東芝セラミックス株式会社）発足 |
|---|---|
| 1977年 | 株式会社東芝からシリコンウェーハ事業を移管 |
| 1982年 | 徳山工場発足（旧徳山セラミックス株式会社） |
| 1983年 | エピタキシャルウェーハ生産開始（旧徳山セラミックス株式会社） |
| 1985年 | 関川工場発足 （旧関川電子株式会社） |
| 1986年 | 拡散ウェーハ生産開始（旧関川電子株式会社） |
| 1991年 | 当社設立（旧新潟東芝セラミックス株式会社） |
| 1993年 | 150mmウェーハ生産開始 |
| 1995年 | 200mmウェーハ生産開始 |
| 2001年 | 300mmウェーハ生産開始 |
| 2011年 | コバレントマテリアルのシリコンウェーハ事業を当社に集約 |
| 2012年 | Sino-American Silicon Products Inc.グループに株式譲渡 |
| 2013年 | 社名をグローバルウェーハズ・ジャパン株式会社に変更 |
| 2017年 | エム・イー・エム・シー㈱を関係会社とする |
